Extreme ultraviolette lithografie (EUVL) – Rapport

Home / Rapporten / Technologie / Extreme ultraviolette lithografie (EUVL) – Rapport

Extreme ultraviolette lithografie (EUVL) is een geavanceerde technologie die gebruik maakt van een lichtbron van 13.5 nm en is een toonaangevende kandidaat voor een 22 nm-knooppunt lithografie en verder. EUV lithografie bevindt zich nu in de pilotfase met 0.33-NA-gereedschappen op chipproductielocaties. Massaproductie wordt in de nabije toekomst verwacht.

EUV – Technologie-updates
  • Meerdere patronen 
  • Atoomlaagafzetting (ALD) 
  • vlies 
  • Genaamd Hoge NA 
  • High-NA-platform, genaamd 'EXE 
EUV-lithografie: wat nu?​
Uitdaging bij EUVL – is de sterke absorptie van EUV-straling door alle materialen. EUV-resists zijn zo gestructureerd dat het afdrukken plaatsvindt in een zeer dunne beeldlaag op het oppervlak van de resist. Verder zullen EUV-bestendige materialen moeten evolueren met de komende evolutie in de lichtbrontechnologie. 

Over TTC
We hebben voortdurend de waarde geïdentificeerd van nieuwe technologie die wordt uitgevoerd door ons behoorlijk bekwame executive team met een achtergrond als onze professionals. Net als de IP-professionals die we ondersteunen, houdt onze honger naar ontwikkeling nooit op. Wij IMPROVISEREN, AANPASSEN en IMPLEMENTEREN op een strategische manier.

U kunt ook Contact een overleg op te zetten.

TT-consulenten biedt een scala aan efficiënte, hoogwaardige oplossingen voor uw intellectueel eigendomsbeheer, variërend van Octrooieerbaarheid zoeken, Invalidatie zoeken, FTO (Vrijheid om te opereren), Optimalisatie van de patentportfolio, Patentmonitoring, Inbreuk zoeken, Patenten opstellen en illustraties, en nog veel meer. Wij bieden zowel advocatenkantoren als bedrijven in vele sectoren kant-en-klare oplossingen.

  • envelop-animate.svg

    Download Report

Extreme ultraviolette lithografie (EUVL) - Rapport

GRATIS DOWNLOAD

Stuur downloadlink naar:

*Wij delen uw e-mailadres nooit met iemand anders.

Deel artikel
TOP

Vraag een terugbelverzoek aan!

Bedankt voor uw interesse in TT Consultants. Vul dan het formulier in en wij nemen spoedig contact met u op

    Popup

    ONTGRENDEL DE KRACHT

    Van uw ideeën

    Verbeter uw patentkennis
    Exclusieve inzichten wachten in onze nieuwsbrief

      Vraag een terugbelverzoek aan!

      Bedankt voor uw interesse in TT Consultants. Vul dan het formulier in en wij nemen spoedig contact met u op